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上海高笙取得半导体尾气处理用等离子燃烧装置专利,降温效果好:半导体
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国家知识产权局信息显示,上海高笙集成电路设备有限公司取得一项名为“一种半导体尾气处理用等离子燃烧装置”的专利,授权公告号CN223595944U,申请日期为2024年12月半导体。专利摘要显示,本
2025-12-02
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